设备用途:
我司全新研发的超声波扫描显微镜(SAT),是一种利用水为传播媒介,利用合适频率的超声波,对各类材料和半导体器件进行无损检测的设备,能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷,并以图形的方式直观展示。在扫描过程中,不会影响样品性能,不会对样品造成损伤。
应用领域:
半导体电子行业:半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS、塑料封装IC、晶片、PCB、LED等;
材料行业:复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等;
设备特点:
扫描模式齐全:
1.1 超声波传输时间测量(A扫描)
1.2 纵向截面成像(B扫描)
1.3 X/Y二维成像(C、D、G、X扫描)
1.4 三维扫描与成像
1.5 T扫描:检测透射信号
具备定量测分析功能,以图像方式直观显示被测件内部缺陷的位置、形状和大小,并进行缺陷的尺寸和面积统计,自动计算缺陷占所测量面积的百分比;
具备缺陷尺寸标识、厚度与测距等功能;
具备图像着色功能,根据灰度等级手动着色;可根据厚度变化,自动着色,可根据相位翻转自动着色;
频率范围:1~100MHz,可根据实际需要更换不同频率探头;
自主研发检测软件,可根据客户需求对功能进行持续升级。