应力仪PSV-413 的适用范围：

l 适合于检测复杂构造的玻璃产品；

l 检测高密度的塑料产品；

l 检测光学晶体，如氟化钙等；

l 其他利用偏光场进行的检测，如SIC晶圆；

主要功能：

1. 观测透明产品的内部残余应力分布

2. 在量程范围内，测量因应力产生的光程差

3. 观测高透光率晶圆内瑕疵，如SIC晶圆

主要参数： 

设备名称：应力仪

型号：PSV-413

样品检测区域（偏光场）：200*200mm

目视镜：直径78mm

可检晶圆尺寸：4寸，6寸

设备尺寸：291*384*388mm 

重量：11KG

光源： 白色LED ，10W